标准漏孔,又叫标准漏口、标准泄漏块、定量发生器,它是一种是专门为真空检漏及其校准工作而制造、能够在一定的条件下向真空系统内部提供已知气体流量的元件,在特定条件下,对于一种特定气体提供已知质量流率的一种漏孔。
1、标准漏孔的组成
校准漏孔是测量漏率大小的尺子,是漏率定量测量的关键量具。所谓标准漏孔,就是人为制造的一种具有已知恒定漏率的装置。它一般由漏孔元件、气室、漏孔阀、充气阀和连接件构成。
漏孔元件是允许气体从压力相对高的一侧进人压力低的一侧的一种工艺装置,它是标准漏孔的核心元件。对漏孔元件的要求:应与所连接的系统相容;能安全、可靠、可重复地将气流限制在所要求的水平;有刚性和耐久性;不怕堵塞和污染;只允许一种所要求的气体通过。
气室是向漏孔进气端提供气源的装置,校准漏孔它一般是具有固定容积的钢制容器。对气室的要求:供气充足,以避免漏率随时间而发生较大的变化;有充气阀或能压扁的管子;能对气室进行抽空和充气。
漏孔阀是控制漏孔与所连系统气流的装置。漏孔阀关闭时,还可以保护漏孔元件免受来自所连系统或环境大气的污染。
连接件是与使用系统相连接的机构。对连接件的要求:能与被接系统的接口匹配;具有气密性,以减少漏孔与外部环境间的互漏。
2、标准漏孔的类型
根据漏孔元件的漏气机制,标准漏孔可以分为渗透标准漏孔和物理标准漏孔两大类。
(1)渗透标准漏孔【万肯】
它是利用某些物质对某种气体有高的渗透性这一特性而制造的,其漏孔元件由玻璃、塑料、合成橡胶或金属等材料制造,一般只能允许一种或几种气体通过。应用最多的是渗氦型漏孔,它只能让氦气通过。它有一个封闭的或再充式的气室,气室中充有一定压力的纯氦气。
(2)物理标准漏孔【广州万肯】
它的漏孔元件是物理节流的漏气通道,如金属毛细管、拉伸的玻璃毛细管、金属压扁管、粉末烧结和微孔板等,所以又称通道型标准漏孔。物理漏孔对所有气体成分都能通过。因此,气室中必须使用纯气体,以便得到所要求的气体的漏充。
由于物理漏孔元件中的流动状态通常是未知的,因此要通过校准的方法对压力的影响进行修正。在物理漏孔中,温度变化不仅会引起漏孔元件的尺寸变化,同时还会引起气室压力变化和气体粘度变化,这些变化都直接影响漏率。尽管与渗透漏孔相比,温度变化对物理漏孔的漏率影响要小得多,但仍然建议通过校准实验来确定温度的影响。由于温度变化会引起漏孔尺寸的不可逆变化而使漏率改变,因此漏孔需定期重新校准。
另一个值得注意的问题是,使用带固定气室的物理漏孔时应当避免不需要的气体通过漏孔元件反扩散回气室。如果漏孔元件下游进入了大浓度无用气体或漏孔暴露在大气中,这种反扩散就会很严重。